Micro OLED(又称硅基 OLED)是一种在单晶硅片上制备主动发光型 OLED器件的新型显示技术。Micro OLED 在两个电极之间使用有机发光材料，电流流经时会发出单色光，再透过滤光片生成需要的颜色。不同于传统 OLED 以玻璃为基板，Micro OLED 采用单晶硅晶圆为基板，其利用现有成熟的集成电路 CMOS工艺，可将像素阵列、驱动电路和信号处理电路集成在同一块芯片上。MicroOLED 可以在维持相近分辨率水平的基础上显示面积更小的 OLED，该特性使其更容易实现高 PPI(像素密度)，同时也让显示器具备厚度薄、质量轻、功耗低、发光效率高等特性。Micro OLED 早期应用于军用领域，随着技术逐渐成熟开始延伸至民用消费市场，尤其以苹果为代表的大厂通过 Micro OLED 技术路线切入AR/VR 市场，使其产业化进程进一步加速，目前 Micro OLED 已具备初步量产能力。目前 Micro OLED 主要是外购半成品硅片，制作工序主要包括阳极像素点制备、有机发光层制备、彩色过滤层制备以及分色绑定芯片成模组。

Micro OLED 与传统 OLED 在材料和生产工艺上存在较大差异，这对光学特性、温度特性、显示特性等方面的检测提出了新要求，需要检测设备具备超高像素检测密度、高速检测信号传输、精密温度控制等多方面的技术能力。同时，由于 Micro OLED 在生产过程中加入了半导体工艺，这就要求检测设备具备半导体工艺检测能力。